Mehanička buster pumpa ultra visokog vakuuma
Mehaničke pumpe za povišenje pritiska (UHV) (Roots Booster Pumpe) povećavaju protok gasa u vakuum sistemima niskog{0}}pritiska gdje su potrebni veliki kapacitet pumpanja i brzo{1}}prekidanje pumpe.
Radeći zajedno sa kompatibilnom pratećom pumpom (kao što je suva vakuum pumpa ili rotirajuća lopatična pumpa), pojačivač koristi mehaničko djelovanje pozitivnog{0}}pomaka za prijenos plina sa strane komore u fazu za pozadinu. Ovo značajno povećava efektivnu brzinu pumpanja u opsegu srednjeg do ultra{2}}visokog vakuumskog pritiska.
Tehničke specifikacije
|
Parametar |
Specifikacija/uvjet za odabir |
Inženjerska razmatranja |
|
Vrsta proizvoda |
UHV mehanička pumpa za povišenje tlaka (Roots princip) |
Pojačavač velike propusnosti-pomaka{1}} |
|
Standardi prirubnica |
ISO-K / ISO-F, CF prirubnice ili prilagođene |
Odabrano na osnovu provodljivosti i UHV integriteta zaptivke |
|
Raspon brzine pumpanja |
Zavisno od{0}} modela (pogledajte krive performansi) |
Mora se izračunati zajedno sa provodljivošću sistemske linije |
|
Radni pritisak |
Srednji vakuum do ultra visoki vakuum (UHV) |
Upravlja se potpunim ispumpnim sistemom i ispuštanjem iz komore |
|
Usklađivanje pomoćne pumpe |
Suva pumpa, lopatica ili rotacioni klip |
Kapacitet potpore mora odgovarati protoku bustera |
|
Maksimalni diferencijalni pritisak |
Model{0}}specifična dozvoljena granica pritiska (Delta P max) |
Sprečava toplotno preopterećenje i mehaničko naprezanje |
|
Vakuum{0}}bočni materijali |
Nerđajući čelik, tretirane legure, specijalni premazi |
Niska brzina ispuštanja gasa i hemijska otpornost |
|
Konfiguracija zaptivanja |
Elastomer (FKM/FFKM) ili metalne brtve (CF) |
Odabrano na osnovu brzine curenja helijuma i granica pečenja |
|
Stopa curenja helijuma |
Do 1 x 10^-10 mbar L/s |
Provjereno putem detektora curenja masenog spektrometra |
Vodič za odabir i integraciju
Da biste odabrali ispravnu Roots buster pumpu i osigurali glatku integraciju u vaš vakuumski sistem, procijenite sljedeće radne točke:
Brzina pumpanja i ciljni pritisak:Izračunajte potrebnu efektivnu brzinu pumpanja na ulazu u komoru, uzimajući u obzir provodljivost cijevi.
Opterećenje plina i procesni mediji:Identifikujte sastav procesnog gasa, korozivna svojstva, čestice prašine i stope ispuštanja materijala.
Kompatibilnost pomoćne pumpe:Uverite se da pomoćna pumpa podnosi zapreminu pražnjenja bez prekoračenja maksimalno dozvoljenog diferencijalnog pritiska (Delta P max).
Termička i sistemska blokada:Konfigurišite prekidače pritiska, frekventne pretvarače (VFD) i blokade za hlađenje da biste izbegli mehanička preopterećenja tokom faza grube obrade.
Tipične primjene
Poluprovodnici i elektronika:Evakuacija i rukovanje procesnim gasom za alate za podršku jetkanju, CVD i litografiji koji zahtevaju nisku kontaminaciju.
Nanošenje i premazivanje tankog filma:Održava stabilan radni pritisak tokom procesa visokog{0}}protočnog PVD-a, raspršivanja i optičkog premaza.
Istraživačke laboratorije:Visoko{0}}pouzdane performanse vakuuma za fiziku čestica, nauku o površini i komore za simulaciju svemira.
Vakuumske peći i prerada:Efikasno podnosi velika opterećenja gasa tokom visoko-degazacije, vakuumskog lemljenja i termičke obrade.
Kontrola kvaliteta i dokumentacija
UHV pouzdanost zahtijeva stroge standarde proizvodnje i verifikacije:
Obrada čiste sobe:Više-ultrazvučno čišćenje, odmašćivanje rastvaračem i pakovanje bez prašine-kako bi se osiguralo nisko ispuštanje plinova.
Ispitivanje preciznosti:Dinamičko balansiranje rotora, provjera dimenzija i ispitivanje propuštanja helijuma masenog spektrometra.
Isporučeni dokumenti:Specifične krive brzine pumpanja za model-, CAD/STEP okvirni crteži, električne specifikacije motora, certifikati materijala i izvještaji o ispitivanju curenja.
FAQ
P: Koja je primarna funkcija mehaničke pumpe za povišenje tlaka s ultra visokim vakuumom?
O: Mehanička pumpa za povišenje pritiska ultra visokog vakuuma povećava efektivnu brzinu pumpanja i protok gasa u vakuum sistemima niskog{0}}pritiska. Prenosi plin iz vakuumske komore prema pratećoj pumpi, omogućavajući brzu evakuaciju i veće performanse krajnjeg pritiska.
P: Može li Roots mehanička dopunska pumpa raditi nezavisno bez pomoćne pumpe?
O: Ne. Mehanička pumpa za povišenje pritiska zahtijeva odgovarajuću pomoćnu pumpu (kao što je suha pumpa ili rotirajuća pumpa) za ispuštanje plina do atmosferskog tlaka.
P: Zašto bih trebao izbjegavati odabir pumpe za povišenje tlaka samo na osnovu nominalne brzine pumpanja?
O: Nominalna brzina pumpanja predstavlja idealan pomak bez uzimanja u obzir stvarnih-svjetskih gubitaka sistema. Stvarne performanse zavise od provodljivosti vakuum{2}}voda, kapaciteta pomoćne pumpe, radnog pritiska i gasnog opterećenja komore.
P: Kako da spriječim termičko preopterećenje tokom rada buster pumpe?
O: Termičko preopterećenje se sprečava održavanjem radnog pritiska unutar dozvoljene granice diferencijala (Delta P max). Korišćenje ventila za smanjenje pritiska, frekventnog frekventnog pretvarača (VFD) ili prekidača pritiska za kontrolu pokretanja pojačivača- štiti pumpu od prevelikog opterećenja gasa.
P: Koje se mjere opreza za UHV čistoću poduzimaju tokom proizvodnje?
O: Za UHV servis, komponente na vakum{0}}ovoj strani prolaze kroz specijalizirane procese čišćenja, kao što je ultrazvučno odmašćivanje, kako bi se uklonili ostaci ugljovodonika.
Popularni tagovi: ultra visokovakumska mehanička pumpa za povišenje pritiska, Kina proizvođači, dobavljači, fabrika
