Uindustrija poluprovodnika, izbortehnologija premazaje važan faktor koji utječe na kvalitetu i performanse proizvoda. Danas ćemo svima predstaviti FFE tehnologiju.
FFE tehnologiju je razvila GENCOA u Velikoj Britaniji, koja koristi svoje unutrašnje rotirajuće magnetno polje kao jezgro da značajno poboljša nisku stopu iskorištenja i lošu uniformnost kružnih planarnih katodnih ciljeva.
Osnovne prednosti FFE tehnologije leže u njenoj visokoj uniformnosti i visokoj stopi iskorištenja ciljnih materijala. Kroz unutrašnje rotirajuće magnetno polje, FFE tehnologija može postići kontrolu uniformnosti tokom procesa nanošenja premaza.
Njegova ujednačenost može doseći i bolje od ± 3%, a stopa iskorištenja ciljanog materijala također prelazi 40%.
Pored svojih osnovnih prednosti, FFE tehnologija takođe ima više načina za podešavanje uniformnosti.
Na primjer, promjenom brzine rotacije magnetnog niza (50-120 o/min), može se podesiti ujednačenost tokom procesa nanošenja premaza.
Osim toga, podešavanje položaja magneta u odnosu na os rotacije i korištenje magnetnih ploča za podešavanje magnetnog polja također su uobičajene metode podešavanja uniformnosti u FFE tehnologiji.
Raznolikost ovih metoda podešavanja omogućava FFE tehnologiji da se prilagodi različitim zahtjevima premaza, poboljšavajući kvalitet proizvoda i performanse.
FFE tehnologija je takođe veoma pogodna za oblaganje poluprovodničkih pločica, sa visokim stepenom uklapanja između uniformne površine i kružne podloge, čineći proces premazivanja preciznijim i efikasnijim.
Osim toga, veličina materijala katode u FFE tehnologiji je raznolika, sa 3-8 inča i 10-17 inča za izbor, što može zadovoljiti zahtjeve premaza za pločice različitih veličina.
Osim u industriji poluvodiča, FFE tehnologija ima i širok spektar primjena u drugim oblastima.
Na primjer, u oblastima optike, elektronike, vazduhoplovstva, itd., FFE tehnologija se može uzeti u obzir za proizvode sa visokim zahtjevima za kvalitetom i uniformnošću premaza.
FFE tehnologija također ima karakteristike dugog vijeka trajanja magneta, podesive brzine rotacije, velikog kapaciteta snage i direktnog hlađenja ciljanih materijala.
Ove karakteristike čine FFE tehnologiju stabilnijom i pouzdanijom tokom procesa nanošenja premaza. U međuvremenu, njegova kontrola tlaka plina i dizajn vakuumske vodene zaptivke također osiguravaju točnost i sigurnost procesa nanošenja premaza.
Slijede mjerenja uniformnosti i ciljanog iskorišćenja tokom čitavog životnog ciklusa ciljnog materijala, koji radi na različitim kW·h (ciljni materijal je Cu (C101), snaga je 5 kW DC, gas je Ar, pritisak je 5,9 E{{ 4}} mbar)
